一种单晶硅太阳能电池片的干法刻蚀工艺

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310721765.X
申请日
2013-12-24
公开(公告)号
CN103746029A
公开(公告)日
2014-04-23
发明(设计)人
任春兰 田治龙 曲岩 葛瑞丽 何晓玢
申请人
申请人地址
750021 宁夏回族自治区银川市西夏区六盘山西路166号
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
代理机构
宁夏专利服务中心 64100
代理人
赵明辉
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种太阳能电池片干法刻蚀工艺 [P]. 
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[3]
单晶硅太阳能电池片湿法刻蚀装置 [P]. 
程鹏飞 ;
龚双龙 ;
全余生 .
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[4]
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[8]
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严文生 ;
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赵庆国 ;
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[10]
一种单晶硅太阳能电池片去除磷硅玻璃的工艺 [P]. 
丁继业 ;
安百俊 ;
谢余才 ;
陈刚刚 ;
田治龙 ;
任春兰 ;
何晓玢 ;
葛瑞丽 ;
曲岩 .
中国专利 :CN103746030B ,2014-04-23