一种直写式光刻系统中内层对位的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310520801.6

申请日：

2013-10-29

公开(公告)号：

CN103529654A

公开(公告)日：

2014-01-22

发明(设计)人：

陈勇李显杰

申请人：

申请人地址：

300457 天津市滨海新区天津开发区黄海路167号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

天津市三利专利商标代理有限公司 12107

代理人：

闫俊芬

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-23	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101703137556 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013105208016 变更事项:申请人变更前权利人:天津芯硕精密机械有限公司变更后权利人:天津津芯微电子科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:300457 天津市滨海新区天津开发区黄海路167号变更后权利人:300000 天津市开发区第五大街泰华路12号泰达中小企业发展中心3103室登记生效日:20140702
2015-09-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101624203445 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013105208016 申请日:20131029
2017-08-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101756474926 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013105208016 申请公布日:20140122
2014-01-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种直写光刻系统中用于内层电路板对位的打标装置 [P].

张琪 ;

李香滨 ;

范云瑞 .

中国专利 :CN206348594U ,2017-07-21

[2]

直写光刻系统和直写光刻方法 [P].

浦东林 ;

朱鹏飞 ;

朱鸣 ;

邵仁锦 ;

张瑾 ;

王冠楠 ;

陈林森 .

中国专利 :CN112987501B ,2021-06-18

[3]

一种直写式光刻系统的曝光方法 [P].

廖绍良 ;

李幸幸 ;

张雷 .

中国专利 :CN117687270A ,2024-03-12

[4]

一种直写式光刻系统 [P].

刘栋 ;

胡传武 ;

张雷 .

中国专利 :CN116224717B ,2025-09-12

[5]

激光直写曝光机内层对位的装置 [P].

吴俊 ;

李文静 ;

李显杰 ;

刘文海 .

中国专利 :CN202837809U ,2013-03-27

[6]

一种直写式光刻系统中倾斜扫描显示方法 [P].

陈勇 ;

陈修涛 ;

张爱民 .

中国专利 :CN102890426B ,2013-01-23

[7]

直写式光刻系统中图像数据串的压缩方法 [P].

陈勇 ;

张爱民 ;

陈修涛 .

中国专利 :CN102736447A ,2012-10-17

[8]

一种直写式光刻系统的FPGA中倾斜数据准备的方法 [P].

陈勇 ;

陈修涛 ;

张爱民 .

中国专利 :CN102890427B ,2013-01-23

[9]

一种直写光刻机的光刻系统 [P].

张柯 ;

张雷 ;

李伟成 .

中国专利 :CN112327578A ,2021-02-05

[10]

直写式光刻系统中的图像灰度数据的压缩方法 [P].

陈勇 ;

陈修涛 ;

张爱民 .

中国专利 :CN102736448A ,2012-10-17

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