射频离子源工作参数优化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711251535.6

申请日：

2017-12-01

公开(公告)号：

CN108032145B

公开(公告)日：

2018-05-15

发明(设计)人：

唐瓦邓伟杰尹小林薛栋林张学军

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

B24B100

IPC分类号：

G06F1750

代理机构：

深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316

代理人：

赵勍毅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/00 申请日:20171201
2018-05-15	公开	公开
2019-07-26	授权	授权

共 50 条

[1]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

郑培鑫 ;

吴秋生 ;

易洪波 ;

赵刚 .

中国专利 :CN221264042U ,2024-07-02

[2]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549B ,2024-02-20

[3]

射频离子源系统及射频离子源控制方法 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN114302549A ,2022-04-08

[4]

射频离子源 [P].

M·L·朗福德 ;

S·N·凯恩斯 ;

A·J·马 ;

I·B·普利桑茨 .

中国专利 :CN1529898A ,2004-09-15

[5]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

易洪波 ;

赵刚 ;

吴秋生 ;

曾文华 ;

刘运鸿 .

中国专利 :CN306231123S ,2020-12-15

[6]

射频离子源 [P].

刘伟基 ;

吴秋生 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN307776281S ,2023-01-06

[7]

射频离子源 [P].

吴秋生 ;

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 .

中国专利 :CN215771057U ,2022-02-08

[8]

射频离子源 [P].

M·L·兰富德 ;

J·F·J·托德 .

中国专利 :CN1061781C ,1998-03-04

[9]

射频离子源系统及离子源设备 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

赵刚 ;

易洪波 ;

曾文华 ;

刘运鸿 ;

吴秋生 .

中国专利 :CN210866112U ,2020-06-26

[10]

射频离子源设备 [P].

张洪国 ;

夏益伟 ;

唐继远 ;

徐冉 ;

张浩宇 ;

王旭敏 .

中国专利 :CN308586236S ,2024-04-16

← 1 2 3 4 5 →