一种金刚石复合衬底氮化镓器件的制备方法及其器件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011375816.4

申请日：

2020-11-30

公开(公告)号：

CN112614880A

公开(公告)日：

2021-04-06

发明(设计)人：

任泽阳梁振芳张金风苏凯邢宇菲杨士奇许晟瑞张进成郝跃

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市雁塔区太白南路2号

IPC主分类号：

H01L2906

IPC分类号：

H01L2916 H01L2920 H01L2102

代理机构：

西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230

代理人：

刘长春

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/06 申请日:20201130
2021-04-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种孔径式复合衬底氮化镓器件及其制备方法 [P].

任泽阳 ;

吕丹丹 ;

张金风 ;

张进成 ;

张雅超 ;

苏凯 ;

郝跃 .

中国专利 :CN110223918A ,2019-09-10

[2]

一种基于金刚石衬底的氮化镓器件及其制备方法 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

吕丹丹 ;

张进成 ;

苏凯 ;

张雅超 ;

郝跃 .

中国专利 :CN110164766A ,2019-08-23

[3]

一种基于金刚石衬底的氮化镓器件的制备方法 [P].

囤冠华 ;

赵海明 ;

王敬 ;

任天令 ;

赵清 ;

单卫平 ;

钮应喜 ;

袁松 ;

史田超 ;

钟敏 ;

左万胜 ;

张晓洪 .

中国专利 :CN114267592A ,2022-04-01

[4]

金刚石基氮化镓器件制造方法 [P].

倪贤锋 ;

范谦 ;

何伟 .

中国专利 :CN108847392A ,2018-11-20

[5]

金刚石基氮化镓器件制造方法 [P].

倪贤锋 ;

范谦 ;

何伟 .

中国专利 :CN108598036A ,2018-09-28

[6]

一种氮化镓器件和金刚石衬底的键合方法 [P].

程哲 ;

孙梓轩 ;

王润声 ;

黄如 .

中国专利 :CN118039495A ,2024-05-14

[7]

一种金刚石基氮化镓HEMT器件的制备方法 [P].

吴立枢 ;

孔月婵 ;

陈堂胜 .

中国专利 :CN118471808A ,2024-08-09

[8]

一种复合衬底及其制备方法和氮化镓器件 [P].

王鑫华 ;

刘新宇 ;

高润华 ;

黄森 ;

魏珂 .

中国专利 :CN117637818A ,2024-03-01

[9]

金刚石复合衬底、金刚石复合衬底的制备方法及GaN器件 [P].

梁剑波 .

中国专利 :CN120388885A ,2025-07-29

[10]

基于金刚石的镓面极性氮化镓器件制造方法 [P].

倪贤锋 ;

范谦 ;

何伟 .

中国专利 :CN108878511A ,2018-11-23

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