一种孔径式复合衬底氮化镓器件及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910326087.4

申请日：

2019-04-23

公开(公告)号：

CN110223918A

公开(公告)日：

2019-09-10

发明(设计)人：

任泽阳吕丹丹张金风张进成张雅超苏凯郝跃

申请人：

申请人地址：

710071 陕西省西安市太白南路2号

IPC主分类号：

H01L21335

IPC分类号：

H01L29778 H01L2910 H01L2920 H01L23367 H01L23373

代理机构：

西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230

代理人：

张捷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/335 申请日:20190423
2019-09-10	公开	公开
2021-01-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种金刚石复合衬底氮化镓器件的制备方法及其器件 [P].

任泽阳 ;

梁振芳 ;

张金风 ;

苏凯 ;

邢宇菲 ;

杨士奇 ;

许晟瑞 ;

张进成 ;

郝跃 .

中国专利 :CN112614880A ,2021-04-06

[2]

一种复合衬底及其制备方法和氮化镓器件 [P].

王鑫华 ;

刘新宇 ;

高润华 ;

黄森 ;

魏珂 .

中国专利 :CN117637818A ,2024-03-01

[3]

一种氮化镓器件及其制备方法 [P].

金航帅 ;

杜卫星 ;

韦建松 ;

刘少锋 .

中国专利 :CN117542881B ,2024-04-05

[4]

一种氮化镓器件及其制备方法 [P].

金航帅 ;

杜卫星 ;

韦建松 ;

刘少锋 .

中国专利 :CN117542881A ,2024-02-09

[5]

硅-氮化镓复合衬底、复合器件及制备方法 [P].

陈龙 ;

程静云 ;

商延卫 ;

马旺 ;

陈祖尧 ;

袁理 .

中国专利 :CN113130297A ,2021-07-16

[6]

用于制备氮化镓射频器件的衬底及其制备方法、氮化镓射频器件 [P].

袁卫华 ;

程文进 ;

孙勇 ;

徐松 ;

罗才旺 ;

彭立波 ;

曹华翔 ;

罗南安 .

中国专利 :CN112713082A ,2021-04-27

[7]

一种氮化镓复合基板、氮化镓器件及其制备方法 [P].

尹志军 ;

崔国新 ;

冯会会 ;

许志城 .

中国专利 :CN112259604A ,2021-01-22

[8]

一种基于金刚石衬底的氮化镓器件及其制备方法 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

吕丹丹 ;

张进成 ;

苏凯 ;

张雅超 ;

郝跃 .

中国专利 :CN110164766A ,2019-08-23

[9]

氮化镓功率器件的制备方法、氮化镓功率器件 [P].

刘君梦 ;

叶念慈 ;

刘成 ;

王哲力 ;

梁玉玉 .

中国专利 :CN118280836A ,2024-07-02

[10]

一种氮化镓功率器件的制备方法 [P].

陈兴 ;

黄永 ;

沈琪 ;

王东 ;

吴勇 ;

陆俊 ;

季亚军 ;

陈军飞 ;

操焰 ;

孙凯 ;

常娟雄 ;

陈财 ;

邵语嫣 .

中国专利 :CN114038750B ,2022-02-11

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