半球形微陀螺封装结构及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510288003.4

申请日：

2015-05-29

公开(公告)号：

CN104913773B

公开(公告)日：

2015-09-16

发明(设计)人：

张卫平唐健刘亚东邢亚亮孙殿竣汪濙海陈文元

申请人：

申请人地址：

200240 上海市闵行区东川路800号

IPC主分类号：

G01C19567

IPC分类号：

G01C195684

代理机构：

上海汉声知识产权代理有限公司 31236

代理人：

徐红银;郭国中

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101635678964 IPC(主分类):G01C 19/567 专利申请号:2015102880034 申请日:20150529
2015-09-16	公开	公开
2018-01-19	授权	授权

共 50 条

[1]

面外压电式半球形微陀螺仪及其制备方法 [P].

张卫平 ;

唐健 ;

汪濙海 ;

刘亚东 ;

孙殿竣 ;

邢亚亮 ;

陈文元 .

中国专利 :CN104897146B ,2015-09-09

[2]

面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法 [P].

张卫平 ;

唐健 ;

刘亚东 ;

汪濙海 ;

邢亚亮 ;

孙殿竣 ;

陈文元 .

中国专利 :CN105004334A ,2015-10-28

[3]

半球体固态波动微陀螺仪及其制备方法 [P].

张卫平 ;

唐健 ;

刘亚东 ;

汪濙海 ;

成宇翔 ;

孙殿竣 ;

邢亚亮 ;

陈文元 .

中国专利 :CN104197916A ,2014-12-10

[4]

一种基于SOI封装的熔融石英微半球谐振陀螺仪及其加工方法 [P].

夏敦柱 ;

高海钰 .

中国专利 :CN106959106B ,2017-07-18

[5]

微玻璃半球谐振陀螺及其圆片级制备方法 [P].

尚金堂 ;

罗斌 .

中国专利 :CN105540530A ,2016-05-04

[6]

谐振微陀螺及其制备方法 [P].

张卫平 ;

谷留涛 ;

刘朝阳 ;

李敏阳 ;

田梦雅 ;

崔峰 ;

张钰莹 ;

成宇翔 ;

赵万良 ;

刘瑞鑫 .

中国专利 :CN108871305A ,2018-11-23

[7]

基于微圆球的微型半球谐振陀螺仪及其制备方法 [P].

张卫平 ;

唐健 ;

刘亚东 ;

汪濙海 ;

成宇翔 ;

孙殿竣 ;

邢亚亮 ;

陈文元 .

中国专利 :CN104197910B ,2014-12-10

[8]

一种SOI微半球陀螺敏感结构 [P].

郭中洋 ;

杨军 ;

刘飞 ;

盛洁 ;

窦茂莲 ;

苏翼 ;

夏春晓 ;

刘韧 ;

王登顺 ;

崔健 ;

林梦娜 ;

刘凯 .

中国专利 :CN107063224A ,2017-08-18

[9]

一种具有保护结构的半球形摄像头 [P].

陈建锋 .

中国专利 :CN203608263U ,2014-05-21

[10]

一种基于SOI封装的微半球谐振陀螺仪及其加工方法 [P].

夏敦柱 ;

高海钰 .

中国专利 :CN107063220A ,2017-08-18

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