晶圆清洁设备与晶圆清洁方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910753217.2

申请日：

2019-08-15

公开(公告)号：

CN110838457B

公开(公告)日：

2020-02-25

发明(设计)人：

陈柏辰蔡永豊吴圣威

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102 B08B104 B08B302 B08B308 B08B310 B08B312 B08B1300

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-25	公开	公开
2022-05-06	授权	授权
2020-03-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190815

共 50 条

[1]

晶圆清洁设备及晶圆清洁方法 [P].

杨杰 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

宋昌万 ;

陈传磊 ;

李瑞评 ;

张海忠 .

中国专利 :CN120127031A ,2025-06-10

[2]

晶圆清洁设备及晶圆清洁方法 [P].

杨杰 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

宋昌万 ;

陈传磊 ;

李瑞评 ;

张海忠 .

中国专利 :CN120127031B ,2025-08-05

[3]

晶圆清洁设备及晶圆清洁方法 [P].

黃玠超 ;

严必明 ;

夏英庭 ;

夏培彦 ;

黄秉荣 ;

胡弘龙 .

中国专利 :CN109772784B ,2019-05-21

[4]

晶圆清洁设备及晶圆清洁方法 [P].

杨杰 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

宋昌万 ;

陈传磊 ;

李瑞评 ;

张海忠 .

中国专利 :CN120998819A ,2025-11-21

[5]

晶圆清洁设备及晶圆清洁方法 [P].

杨杰 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

宋昌万 ;

陈传磊 ;

李瑞评 ;

张海忠 .

中国专利 :CN120998820A ,2025-11-21

[6]

晶圆清洁装置及晶圆清洁设备 [P].

兰升友 ;

徐瑞林 ;

易熊军 ;

文成龙 ;

王浪 .

中国专利 :CN216026941U ,2022-03-15

[7]

晶圆背面清洁设备以及晶圆背面清洁方法 [P].

王剑 ;

毛智彪 ;

戴韫青 .

中国专利 :CN102427047A ,2012-04-25

[8]

晶圆清洁设备 [P].

刘红兵 ;

陈概礼 ;

李祝青 .

中国专利 :CN205380086U ,2016-07-13

[9]

晶圆清洁设备 [P].

刘红兵 ;

陈概礼 ;

李祝青 .

中国专利 :CN105478391A ,2016-04-13

[10]

晶圆盒清洁设备 [P].

邢程 ;

章亚荣 ;

张溢钢 .

中国专利 :CN101834113A ,2010-09-15

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