晶圆清洁设备及晶圆清洁方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511160365.5

申请日：

2025-04-24

公开(公告)号：

CN120998819A

公开(公告)日：

2025-11-21

发明(设计)人：

杨杰孔玉朋蒋君宋昌万陈传磊李瑞评张海忠

申请人：

拓思精工科技（苏州）有限公司

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区平望镇梅堰西路58号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B3/08 B08B3/04 B08B1/12 B08B13/00 H01L21/677

代理机构：

厦门荔信律和知识产权代理有限公司 35282

代理人：

陈文戎

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-21	公开	公开
2025-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250424

共 50 条

[1]

晶圆清洁设备及晶圆清洁方法 [P].

杨杰 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

宋昌万 ;

陈传磊 ;

李瑞评 ;

张海忠 .

中国专利 :CN120127031A ,2025-06-10

[2]

晶圆清洁设备及晶圆清洁方法 [P].

杨杰 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

宋昌万 ;

陈传磊 ;

李瑞评 ;

张海忠 .

中国专利 :CN120127031B ,2025-08-05

[3]

晶圆清洁设备及晶圆清洁方法 [P].

杨杰 ;

孔玉朋 ;

蒋君 ;

宋昌万 ;

陈传磊 ;

李瑞评 ;

张海忠 .

中国专利 :CN120998820A ,2025-11-21

[4]

晶圆清洁设备及晶圆清洁方法 [P].

黃玠超 ;

严必明 ;

夏英庭 ;

夏培彦 ;

黄秉荣 ;

胡弘龙 .

中国专利 :CN109772784B ,2019-05-21

[5]

晶圆清洁装置及晶圆清洁设备 [P].

兰升友 ;

徐瑞林 ;

易熊军 ;

文成龙 ;

王浪 .

中国专利 :CN216026941U ,2022-03-15

[6]

晶圆清洁设备与晶圆清洁方法 [P].

陈柏辰 ;

蔡永豊 ;

吴圣威 .

中国专利 :CN110838457B ,2020-02-25

[7]

晶圆背面清洁设备以及晶圆背面清洁方法 [P].

王剑 ;

毛智彪 ;

戴韫青 .

中国专利 :CN102427047A ,2012-04-25

[8]

晶圆清洁设备 [P].

刘红兵 ;

陈概礼 ;

李祝青 .

中国专利 :CN205380086U ,2016-07-13

[9]

晶圆清洁设备 [P].

刘红兵 ;

陈概礼 ;

李祝青 .

中国专利 :CN105478391A ,2016-04-13

[10]

清洁装置及晶圆清洁设备 [P].

高林 .

中国专利 :CN212120884U ,2020-12-11

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