光电探测器、调焦调平装置以及光刻投影设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911204078.4

申请日：

2019-11-29

公开(公告)号：

CN112882356B

公开(公告)日：

2021-06-01

发明(设计)人：

毛静超徐荣伟庄亚政孙建超季桂林

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G01B1106 G01B1126

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20191129
2021-06-01	公开	公开
2021-11-12	授权	授权

共 50 条

[1]

光电探测电路以及光电探测器 [P].

史永明 ;

马占洁 ;

田慧 ;

王纯 .

中国专利 :CN108981910B ,2018-12-11

[2]

光电探测电路以及光电探测器 [P].

史永明 ;

马占洁 ;

田慧 ;

王纯 .

中国专利 :CN109031393B ,2018-12-18

[3]

光电探测元件以及光电探测器 [P].

王江涛 ;

柳鹏 ;

姜开利 ;

范守善 .

中国专利 :CN108963079A ,2018-12-07

[4]

调焦调平装置、光刻设备及调焦调平方法 [P].

毛静超 ;

徐荣伟 ;

庄亚政 ;

孙建超 ;

季桂林 ;

李淑蓉 .

中国专利 :CN111352304B ,2020-06-30

[5]

有机光电探测器以及包括该有机光电探测器的电子装置 [P].

李大镐 ;

徐东揆 ;

申准龙 ;

俞炳旭 ;

尹锡奎 ;

李炳奭 .

中国专利 :CN115440767A ,2022-12-06

[6]

投影设备调焦装置 [P].

张廷森 ;

李建春 ;

孙砚敏 .

中国专利 :CN102681316B ,2012-09-19

[7]

光电探测器以及光电探测器的制备方法 [P].

兰潇健 ;

马四光 ;

刘超晖 ;

马静 .

中国专利 :CN118538739B ,2024-10-01

[8]

光电探测器以及光电探测器的制备方法 [P].

兰潇健 ;

马四光 ;

刘超晖 ;

马静 .

中国专利 :CN118538739A ,2024-08-23

[9]

一种调平装置及投影设备 [P].

屈珅 .

中国专利 :CN216201698U ,2022-04-05

[10]

光电探测器、其制备方法及光电探测装置 [P].

陈江博 ;

李延钊 ;

梁魁 ;

李达 .

中国专利 :CN111370525B ,2020-07-03

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