研磨垫、研磨垫的制造方法以及研磨方法

被引：0

申请号：

CN202080039388.X

申请日：

2020-06-04

公开(公告)号：

CN114286737A

公开(公告)日：

2022-04-05

发明(设计)人：

加藤充菊池博文冈本知大加藤晋哉

申请人：

申请人地址：

日本冈山县

IPC主分类号：

B24B3724

IPC分类号：

B24B3726 B24B53017 H01L21304

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

谢辰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-05	公开	公开
2022-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/24 申请日:20200604

共 50 条

[1]

研磨垫、研磨垫的制造方法以及研磨方法 [P].

加藤充 ;

菊池博文 ;

冈本知大 ;

加藤晋哉 .

日本专利 :CN114286737B ,2024-10-08

[2]

研磨垫、研磨垫的制造方法及研磨方法 [P].

王裕标 ;

陈忆萍 .

中国专利 :CN110385640A ,2019-10-29

[3]

研磨垫、研磨垫的制造方法及研磨方法 [P].

王裕标 .

中国专利 :CN109420974B ,2019-03-05

[4]

研磨垫和研磨垫的制造方法 [P].

立野哲平 ;

田中启介 ;

喜乐香枝 ;

小池坚一 ;

栗原浩 ;

宫内庆树 .

日本专利 :CN116490322B ,2025-11-18

[5]

研磨垫、研磨垫的制造方法和研磨方法 [P].

小田善之 ;

柴雄一郎 .

中国专利 :CN109311138A ,2019-02-05

[6]

研磨垫、其制造方法以及使用该研磨垫的研磨方法 [P].

铃木雅雄 ;

中川宏 ;

吉田诚人 ;

西山雅也 ;

岛村泰夫 ;

平西智雄 ;

室川芳纪 ;

岩月保仁 ;

高桥克治 ;

向田政信 .

中国专利 :CN1768417A ,2006-05-03

[7]

研磨垫以及研磨方法 [P].

森永均 ;

玉井一诚 ;

田原宗明 ;

浅井舞子 ;

伊藤友一 .

中国专利 :CN107708926A ,2018-02-16

[8]

切割装置、研磨垫的制造方法以及研磨垫 [P].

白昆哲 ;

王昭钦 .

中国专利 :CN103707210B ,2014-04-09

[9]

研磨垫以及研磨方法 [P].

王裕标 .

中国专利 :CN109590897A ,2019-04-09

[10]

研磨垫、研磨装置及研磨垫的制造方法 [P].

冯崇智 ;

姚伊蓬 ;

洪永璋 ;

蔡坤成 .

中国专利 :CN103817590A ,2014-05-28

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