研磨垫和研磨垫的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202180067394.0

申请日：

2021-09-16

公开(公告)号：

CN116490322B

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

立野哲平田中启介喜乐香枝小池坚一栗原浩宫内庆树

申请人：

富士纺控股株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B24B37/013

IPC分类号：

H01L21/304 C08J7/18 C08J7/04 C08J5/14 B24B37/26 B24B37/24

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

陈彦;张默

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-18	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫、研磨垫的制造方法和研磨方法 [P].

小田善之 ;

柴雄一郎 .

中国专利 :CN109311138A ,2019-02-05

[2]

研磨垫、研磨垫的制造方法以及研磨方法 [P].

加藤充 ;

菊池博文 ;

冈本知大 ;

加藤晋哉 .

日本专利 :CN114286737B ,2024-10-08

[3]

研磨垫、研磨垫的制造方法及研磨方法 [P].

王裕标 ;

陈忆萍 .

中国专利 :CN110385640A ,2019-10-29

[4]

研磨垫、研磨垫的制造方法及研磨方法 [P].

王裕标 .

中国专利 :CN109420974B ,2019-03-05

[5]

研磨垫、研磨垫的制造方法以及研磨方法 [P].

加藤充 ;

菊池博文 ;

冈本知大 ;

加藤晋哉 .

中国专利 :CN114286737A ,2022-04-05

[6]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

小川一幸 ;

下村哲生 ;

数野淳 ;

中井良之 ;

渡边公浩 ;

山田孝敏 ;

中森雅彦 .

中国专利 :CN101659036A ,2010-03-03

[7]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

小川一幸 ;

下村哲生 ;

数野淳 ;

中井良之 ;

渡边公浩 ;

山田孝敏 ;

中森雅彦 .

中国专利 :CN101072657B ,2007-11-14

[8]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

向史博 ;

田浦歳和 .

中国专利 :CN106457523A ,2017-02-22

[9]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

立野哲平 ;

宫坂博仁 ;

松冈立马 ;

金泽香枝 ;

宫泽文雄 .

中国专利 :CN104321370B ,2015-01-28

[10]

研磨垫及研磨垫的制造方法 [P].

小川一幸 ;

下村哲生 ;

数野淳 ;

中井良之 ;

渡边公浩 ;

山田孝敏 ;

中森雅彦 .

中国专利 :CN101659035A ,2010-03-03

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