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用于晶圆临时键合的键合设备

被引：0
申请号：
CN202123140788.0
申请日：
2021-12-14
公开(公告)号：
CN216773189U
公开(公告)日：
2022-06-17
发明(设计)人：
霍进迁 龚燕飞
申请人：
申请人地址：
201800 上海市嘉定区城北路235号1号楼
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
罗泳文
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-06-17 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆的临时键合设备和键合方法 [P]. 
温海涛 ;
王金龙 ;
史册 ;
孙璞 ;
徐晓伟 .
中国专利 :CN118737930A ,2024-10-01
[2]
用于晶圆键合的键合盘以及晶圆键合装置 [P]. 
司伟 ;
白龙 .
中国专利 :CN212659518U ,2021-03-05
[3]
晶圆键合设备 [P]. 
赵志远 .
中国专利 :CN115116900A ,2022-09-27
[4]
晶圆键合治具及键合设备 [P]. 
张承勇 ;
周俊强 .
中国专利 :CN222581143U ,2025-03-07
[5]
晶圆键合设备 [P]. 
霍进迁 ;
龚燕飞 .
中国专利 :CN214313133U ,2021-09-28
[6]
晶圆键合设备 [P]. 
赵志远 ;
袁绅豪 ;
刘武 ;
刘淼 ;
锁志勇 .
中国专利 :CN216054588U ,2022-03-15
[7]
晶圆键合设备 [P]. 
李帅龙 ;
白龙 .
中国专利 :CN217158113U ,2022-08-09
[8]
晶圆键合设备 [P]. 
陶超 .
中国专利 :CN213042878U ,2021-04-23
[9]
晶圆解键合设备 [P]. 
任凯 ;
何雅彬 .
中国专利 :CN218101189U ,2022-12-20
[10]
晶圆对准键合设备 [P]. 
李帅龙 ;
白龙 .
中国专利 :CN217983296U ,2022-12-06
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