SiC/TiN超硬纳米多层膜及其制作工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03129543.6

申请日：

2003-06-26

公开(公告)号：

CN1470671A

公开(公告)日：

2004-01-28

发明(设计)人：

李戈扬劳技军孔明戴嘉维张惠娟顾明元

申请人：

申请人地址：

200030上海市华山路1954号

IPC主分类号：

C23C1406

IPC分类号：

C23C1434

代理机构：

上海交达专利事务所

代理人：

王锡麟

法律状态：

专利权的终止(未缴年费专利权终止)

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-08-26	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2004-01-28	公开	公开
2004-04-07	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-07-06	授权	授权

共 50 条

[1]

超硬纳米多层薄膜及其制作工艺 [P].

李戈扬 ;

许俊华 ;

金燕苹 ;

戴嘉维 ;

顾明元 .

中国专利 :CN1117886C ,2000-05-24

[2]

TiN/SiO2纳米多层膜及其制备方法 [P].

李戈扬 ;

魏仑 ;

许辉 ;

胡祖光 ;

梅芳华 ;

祝新发 ;

袁家栋 .

中国专利 :CN1279207C ,2005-03-02

[3]

AlN/BN超硬纳米结构多层膜及其制备方法 [P].

许俊华 ;

喻利花 .

中国专利 :CN101157288A ,2008-04-09

[4]

一种多层膜及多层膜制作工艺 [P].

戴霖斌 ;

张茂槐 ;

许炳跃 .

中国专利 :CN110128961A ,2019-08-16

[5]

多弧离子镀制备小调制周期Ti/TiN超硬纳米多层膜 [P].

孙珲 ;

郑小龙 ;

宋淑梅 ;

杨田林 ;

王宝铭 ;

王昆仑 ;

杨波波 .

中国专利 :CN109440069B ,2019-03-08

[6]

硬质纳米复合薄膜及其制作工艺 [P].

李戈扬 ;

韩增虎 ;

胡晓萍 ;

戴嘉维 ;

顾明元 .

中国专利 :CN1172020C ,2002-11-06

[7]

窗膜及其制作工艺 [P].

蔡志强 ;

韩雪云 .

中国专利 :CN106079764A ,2016-11-09

[8]

内置隐形防伪标识的多层膜及其制作工艺 [P].

胡亮 ;

刘新波 ;

王贵平 .

中国专利 :CN120564522A ,2025-08-29

[9]

纳米涂料及其制作工艺 [P].

李林 .

中国专利 :CN1600818A ,2005-03-30

[10]

纳米活化水杯及其制作工艺 [P].

朱星河 .

中国专利 :CN1623910A ,2005-06-08

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