多弧离子镀制备小调制周期Ti/TiN超硬纳米多层膜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910043083.5

申请日：

2019-01-17

公开(公告)号：

CN109440069B

公开(公告)日：

2019-03-08

发明(设计)人：

孙珲郑小龙宋淑梅杨田林王宝铭王昆仑杨波波

申请人：

申请人地址：

264200 山东省威海市文化西路180号

IPC主分类号：

C23C1432

IPC分类号：

C23C1416 C23C1406

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

杜阳阳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-26	授权	授权
2019-03-08	公开	公开
2019-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/32 申请日:20190117

共 29 条

[1]

采用多弧离子镀制备(TiAlZr)N超硬涂层的方法 [P].

张钧 ;

张利鹏 ;

郭强 ;

李丽 ;

王春莉 ;

董世柱 .

中国专利 :CN100584994C ,2008-07-02

[2]

一种多弧离子镀超晶格纳米复合涂层及其制备方法 [P].

张世宏 ;

蔡飞 ;

方炜 ;

李伟 .

中国专利 :CN102605324A ,2012-07-25

[3]

多弧离子镀合金涂层的制备方法 [P].

张钧 .

中国专利 :CN1184859A ,1998-06-17

[4]

一种利用多弧离子镀和磁控溅射镀制备超硬仿生AR片的方法 [P].

徐仕立 .

中国专利 :CN113529019A ,2021-10-22

[5]

Ti/TiN/TiAlSiN/TiAlCrSiN纳米多层梯度膜及其制备方法 [P].

何永勇 ;

李杨 ;

张敏怡 .

中国专利 :CN109207938A ,2019-01-15

[6]

多弧离子镀钛铝铬硅钇氮化物多组元超硬反应膜的制备方法 [P].

张钧 ;

王闯 ;

郭文英 ;

李丽 ;

彭娜 .

中国专利 :CN101230448B ,2008-07-30

[7]

脉冲偏压电弧离子镀钛/氮化钛纳米多层超硬薄膜的方法 [P].

林国强 ;

赵彦辉 ;

肖微 ;

夏元化 ;

董闯 ;

闻立时 .

中国专利 :CN1680618A ,2005-10-12

[8]

SiC/TiN超硬纳米多层膜及其制作工艺 [P].

李戈扬 ;

劳技军 ;

孔明 ;

戴嘉维 ;

张惠娟 ;

顾明元 .

中国专利 :CN1470671A ,2004-01-28

[9]

多弧离子镀纳米多元素复合膜的低温沉积工艺 [P].

李林 .

中国专利 :CN102677003B ,2012-09-19

[10]

烧结钕铁硼磁体表面多弧离子镀制备多层复合防护涂层及工艺 [P].

白雪铠 ;

孙世明 ;

刘泽 .

中国专利 :CN104018133A ,2014-09-03