改进的基板烘烤设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201320818257.9
申请日
2013-12-13
公开(公告)号
CN203644735U
公开(公告)日
2014-06-11
发明(设计)人
李勃
申请人
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
代理机构
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228
代理人
毛广杰
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
基板烘烤设备 [P]. 
刘杰 ;
焦宇 ;
吴超 ;
宋篷磊 ;
剧永波 .
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玻璃基板的烘烤方法和烘烤设备 [P]. 
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玻璃基板的烘烤装置 [P]. 
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基板烘烤设备 [P]. 
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彩膜基板的烘烤设备 [P]. 
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烘烤设备 [P]. 
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基板承载框体的输送设备及基板烘烤设备 [P]. 
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