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基板烘烤设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201020679277.9
申请日：
2010-12-23
公开(公告)号：
CN201936121U
公开(公告)日：
2011-08-17
发明(设计)人：
刘杰
焦宇
吴超
宋篷磊
剧永波
申请人：
申请人地址：
100176 北京市经济技术开发区西环中路8号
IPC主分类号：
G03F738
IPC分类号：
G03F740
G02F11333
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
申健
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-07-29 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101718725936 IPC(主分类):G03F 7/38 专利号:ZL2010206792779 变更事项:专利权人 变更前权利人:北京京东方光电科技有限公司 变更后权利人:京东方科技集团股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100176 北京市经济技术开发区西环中路8号 变更后权利人:100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 变更事项:专利权人 变更前权利人:无 变更后权利人:北京京东方光电科技有限公司 登记生效日:20150709 |
| 2021-01-08 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/38 申请日:20101223 授权公告日:20110817 |
| 2011-08-17 | 授权 | 授权 |