一种氮化铝-氧化铝薄膜及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010277909.7

申请日：

2020-04-10

公开(公告)号：

CN111455351A

公开(公告)日：

2020-07-28

发明(设计)人：

蒋书森吕文龙

申请人：

申请人地址：

361005 福建省厦门市思明区思明南路422号

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1640 C23C1634 C23C1646 H01L2102 H01L2951

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

马小星

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-28	公开	公开
2020-08-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20200410
2021-12-17	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/455 申请公布日:20200728

共 50 条

[1]

一种氧化铝薄膜及其制备方法和应用 [P].

刘志强 ;

袁中存 ;

费正洪 .

中国专利 :CN109457235B ,2019-03-12

[2]

氧化铝陶瓷及其制备方法和应用 [P].

谭毅成 ;

朱佐祥 ;

向其军 .

中国专利 :CN109534799A ,2019-03-29

[3]

一种氧化铝薄膜、制备方法及其应用 [P].

王朋 ;

陈军 ;

余学功 ;

刘粲 ;

崔灿 .

中国专利 :CN112725738A ,2021-04-30

[4]

多孔氧化铝薄膜和Co纳米线/氧化铝复合薄膜及其制备方法 [P].

杨淑敏 ;

岂云开 ;

顾建军 .

中国专利 :CN106917126A ,2017-07-04

[5]

一种氧化铝钛薄膜及其制备方法和应用 [P].

浦海峰 ;

张群 .

中国专利 :CN103274435A ,2013-09-04

[6]

氧化铝载体组合物、氧化铝载体及其制备方法和应用 [P].

蒋军 ;

张毅 ;

苑志伟 ;

任靖 ;

罗道威 ;

梁倩 .

中国专利 :CN119524886A ,2025-02-28

[7]

一种氧化铝薄膜及制备方法及其应用 [P].

邱勇 ;

赵云龙 ;

段炼 ;

张云阁 .

中国专利 :CN102787309B ,2012-11-21

[8]

一种氮化铝/氧化铝复相陶瓷及其制备方法 [P].

伍尚华 ;

黎业华 ;

聂光临 ;

盛鹏飞 .

中国专利 :CN110467443A ,2019-11-19

[9]

氮化铝单晶薄膜及其制备方法和应用 [P].

苏冠华 ;

曹彦伟 ;

张如意 .

中国专利 :CN117448966A ,2024-01-26

[10]

生产氧化铝和/或氮化铝的方法 [P].

朱利安·维蒂耶洛 ;

让-卢奇·德尔卡里 ;

法比安·皮亚拉 .

中国专利 :CN108603288A ,2018-09-28

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