一种氧化铝薄膜、制备方法及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110041832.8

申请日：

2021-01-13

公开(公告)号：

CN112725738A

公开(公告)日：

2021-04-30

发明(设计)人：

王朋陈军余学功刘粲崔灿

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道2号大街928号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1402 C23C1416 C23C1458 H01L2102

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人：

沈留兴

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铝薄膜及其制备方法和应用 [P].

刘志强 ;

袁中存 ;

费正洪 .

中国专利 :CN109457235B ,2019-03-12

[2]

一种氧化铝薄膜及制备方法及其应用 [P].

邱勇 ;

赵云龙 ;

段炼 ;

张云阁 .

中国专利 :CN102787309B ,2012-11-21

[3]

一种氮化铝-氧化铝薄膜及其制备方法和应用 [P].

蒋书森 ;

吕文龙 .

中国专利 :CN111455351A ,2020-07-28

[4]

一种纳米氧化铝薄膜的制备方法 [P].

方长青 ;

蒲梦园 ;

周星 ;

朱怡同 ;

李欢 ;

李航 .

中国专利 :CN107686121A ,2018-02-13

[5]

氧化铝薄膜的制备方法 [P].

金润洙 ;

安基硕 ;

李善淑 ;

郑泽模 ;

曺源泰 ;

成耆焕 .

中国专利 :CN1675404A ,2005-09-28

[6]

多孔氧化铝薄膜和Co纳米线/氧化铝复合薄膜及其制备方法 [P].

杨淑敏 ;

岂云开 ;

顾建军 .

中国专利 :CN106917126A ,2017-07-04

[7]

氧化铝薄膜的制备方法 [P].

张伟丽 ;

余振 ;

朱瑞 ;

易葵 ;

刘晓凤 ;

王胭脂 ;

朱美萍 ;

邵建达 .

中国专利 :CN111270208A ,2020-06-12

[8]

一种Co纳米线/多孔氧化铝复合薄膜、制备方法及其用途 [P].

杨淑敏 ;

岂云开 ;

顾建军 .

中国专利 :CN104805473B ,2015-07-29

[9]

一种氧化铝薄膜的制备方法 [P].

王金晓 ;

冯煜东 ;

王艺 ;

王志民 ;

赵慨 ;

速小梅 ;

王虎 ;

杨淼 .

中国专利 :CN102409293A ,2012-04-11

[10]

一种透明疏水氧化铝薄膜及其制备方法 [P].

杨辉 ;

张玲洁 ;

郭兴忠 ;

沈建超 ;

林志建 ;

吴梦怡 .

中国专利 :CN101531469A ,2009-09-16

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