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晶圆自动搬运装置

被引：0
申请号：
CN202123095961.X
申请日：
2021-12-10
公开(公告)号：
CN216648252U
公开(公告)日：
2022-05-31
发明(设计)人：
王琪 赵洪建 郑旭海
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇东定路401号4号房
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙) 32312
代理人：
陶韬
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-05-31 授权 授权
共 50 条
[1]
一种晶圆自动搬运装置 [P]. 
张海洋 ;
刘伟 ;
吕文波 ;
徐欣琦 .
中国专利 :CN221304625U ,2024-07-09
[2]
晶圆提篮搬运装置 [P]. 
石海林 ;
黄允文 ;
金浩 .
中国专利 :CN220914184U ,2024-05-07
[3]
晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P]. 
吴天尧 ;
王昊 ;
陈兴隆 ;
苗涛 .
中国专利 :CN113628994B ,2024-09-17
[4]
晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法 [P]. 
尾坂浩太 .
日本专利 :CN115552583B ,2025-06-27
[5]
晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法 [P]. 
尾坂浩太 .
中国专利 :CN115552583A ,2022-12-30
[6]
晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P]. 
吴天尧 ;
王昊 ;
陈兴隆 ;
苗涛 .
中国专利 :CN113628994A ,2021-11-09
[7]
晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P]. 
吴天尧 ;
王昊 ;
陈兴隆 ;
苗涛 .
中国专利 :CN113611646A ,2021-11-05
[8]
晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P]. 
吴天尧 ;
王昊 ;
陈兴隆 ;
苗涛 .
中国专利 :CN113611646B ,2024-04-16
[9]
晶圆自动搬运机 [P]. 
王琪 ;
赵洪建 ;
郑旭海 .
中国专利 :CN114334761A ,2022-04-12
[10]
晶圆搬运装置 [P]. 
李连超 ;
林晓晖 ;
赵森 .
中国专利 :CN218274550U ,2023-01-10
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