共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法
被引：0
申请号：
CN202080100775.X
申请日：
2020-08-28
公开(公告)号：
CN115552583A
公开(公告)日：
2022-12-30
发明(设计)人：
尾坂浩太
申请人：
申请人地址：
日本国广岛县
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
B25J906
代理机构：
北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444
代理人：
张黎;龚敏
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-30 | 公开 | 公开 |
| 2023-01-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20200828 |