晶圆搬运装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510285208.0

申请日：

2025-03-11

公开(公告)号：

CN120261381A

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

徐伟峰洪成都邓杰陈伟强

申请人：

捷螺智能设备（苏州）有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市吴中区越溪街道南官渡路12号4号厂房

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

苏州京昀知识产权代理事务所(普通合伙) 32570

代理人：

段晓玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20250311
2025-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆搬运装置 [P].

周锐 ;

董彬 ;

包蕊 ;

杨兵 .

中国专利 :CN222088558U ,2024-11-29

[2]

晶圆搬运装置 [P].

董彬 ;

包蕊 ;

周锐 ;

刘华鹏 .

中国专利 :CN118248607A ,2024-06-25

[3]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113628994B ,2024-09-17

[4]

晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法 [P].

尾坂浩太 .

日本专利 :CN115552583B ,2025-06-27

[5]

晶圆搬运装置以及晶圆搬运方法 [P].

尾坂浩太 .

中国专利 :CN115552583A ,2022-12-30

[6]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113628994A ,2021-11-09

[7]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113611646A ,2021-11-05

[8]

晶圆搬运装置及晶圆搬运方法 [P].

吴天尧 ;

王昊 ;

陈兴隆 ;

苗涛 .

中国专利 :CN113611646B ,2024-04-16

[9]

晶圆搬运装置 [P].

李连超 ;

林晓晖 ;

赵森 .

中国专利 :CN218274550U ,2023-01-10

[10]

晶圆搬运装置 [P].

林永国 .

中国专利 :CN304054813S ,2017-02-22

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