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晶圆搬运方法、晶圆搬运区域控制方法与晶圆搬运系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410789270.9
申请日：
2024-06-19
公开(公告)号：
CN120998802A
公开(公告)日：
2025-11-21
发明(设计)人：
林家扬
卢炫达
叶明堂
张简士琳
林佩贞
李承哲
申请人：
力晶积成电子制造股份有限公司
申请人地址：
中国台湾新竹科学工业园区
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
徐协成
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240619 |
| 2025-11-21 | 公开 | 公开 |