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用于MRAM的大晶粒铜互连线
被引:0
申请号
:
CN202180011235.9
申请日
:
2021-01-05
公开(公告)号
:
CN115004395A
公开(公告)日
:
2022-09-02
发明(设计)人
:
A·雷兹尼塞克
O·格鲁申克夫
Y·苏勒里亚
D·西尔
申请人
:
申请人地址
:
美国纽约阿芒克
IPC主分类号
:
H01L4308
IPC分类号
:
代理机构
:
北京市金杜律师事务所 11256
代理人
:
李兴斌
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-09-20
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 43/08 申请日:20210105
2022-09-02
公开
公开
共 50 条
[1]
用于MRAM的大晶粒铜互连线
[P].
A·雷兹尼塞克
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
国际商业机器公司
国际商业机器公司
A·雷兹尼塞克
;
O·格鲁申克夫
论文数:
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0
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0
机构:
国际商业机器公司
国际商业机器公司
O·格鲁申克夫
;
Y·苏勒里亚
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0
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0
机构:
国际商业机器公司
国际商业机器公司
Y·苏勒里亚
;
D·西尔
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
国际商业机器公司
国际商业机器公司
D·西尔
.
美国专利
:CN115004395B
,2025-09-23
[2]
铜互连线的制造方法
[P].
许家彰
论文数:
0
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0
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许家彰
;
蔡旻錞
论文数:
0
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0
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0
蔡旻錞
;
陈建勋
论文数:
0
引用数:
0
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0
陈建勋
.
中国专利
:CN112382608A
,2021-02-19
[3]
形成铜互连线的方法
[P].
肯尼思·C·卡迪恩
论文数:
0
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0
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0
肯尼思·C·卡迪恩
;
安妮·E·米勒
论文数:
0
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0
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0
安妮·E·米勒
;
艾伦·D·费勒
论文数:
0
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0
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0
艾伦·D·费勒
.
中国专利
:CN1256765C
,2004-05-05
[4]
铜互连线的形成方法
[P].
张城龙
论文数:
0
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0
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0
张城龙
;
张海洋
论文数:
0
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0
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0
张海洋
.
中国专利
:CN104103575A
,2014-10-15
[5]
铜互连线的形成方法
[P].
彭冰清
论文数:
0
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0
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0
彭冰清
.
中国专利
:CN103000570B
,2013-03-27
[6]
铜互连线的刻蚀后处理方法
[P].
王冬江
论文数:
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0
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王冬江
;
周俊卿
论文数:
0
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周俊卿
;
张海洋
论文数:
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0
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0
张海洋
.
中国专利
:CN102760685B
,2012-10-31
[7]
一种金属掺杂的铜互连线的制备方法
[P].
李廷钰
论文数:
0
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0
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机构:
上海交通大学
上海交通大学
李廷钰
;
吴蕴雯
论文数:
0
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机构:
上海交通大学
上海交通大学
吴蕴雯
;
苏红伟
论文数:
0
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机构:
上海交通大学
上海交通大学
苏红伟
;
金歆宇
论文数:
0
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0
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机构:
上海交通大学
上海交通大学
金歆宇
;
鞠生宏
论文数:
0
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0
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机构:
上海交通大学
上海交通大学
鞠生宏
;
徐江
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
上海交通大学
上海交通大学
徐江
.
中国专利
:CN117690868A
,2024-03-12
[8]
铜互连线间空气隙的形成方法
[P].
林宏
论文数:
0
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0
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0
林宏
.
中国专利
:CN104319260A
,2015-01-28
[9]
铜互连线的形成方法及电镀装置
[P].
卢炯平
论文数:
0
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0
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0
卢炯平
;
聂佳相
论文数:
0
引用数:
0
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0
聂佳相
.
中国专利
:CN102044427A
,2011-05-04
[10]
用于BEOL的同质铜互连
[P].
K·S·皮特拉尔卡
论文数:
0
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K·S·皮特拉尔卡
;
M·克里施南
论文数:
0
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0
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M·克里施南
;
M·洛法罗
论文数:
0
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M·洛法罗
;
K·P·罗德贝尔
论文数:
0
引用数:
0
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0
K·P·罗德贝尔
.
中国专利
:CN101023514A
,2007-08-22
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