用于MRAM的大晶粒铜互连线

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申请号
CN202180011235.9
申请日
2021-01-05
公开(公告)号
CN115004395A
公开(公告)日
2022-09-02
发明(设计)人
A·雷兹尼塞克 O·格鲁申克夫 Y·苏勒里亚 D·西尔
申请人
申请人地址
美国纽约阿芒克
IPC主分类号
H01L4308
IPC分类号
代理机构
北京市金杜律师事务所 11256
代理人
李兴斌
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
用于MRAM的大晶粒铜互连线 [P]. 
A·雷兹尼塞克 ;
O·格鲁申克夫 ;
Y·苏勒里亚 ;
D·西尔 .
美国专利 :CN115004395B ,2025-09-23
[2]
铜互连线的制造方法 [P]. 
许家彰 ;
蔡旻錞 ;
陈建勋 .
中国专利 :CN112382608A ,2021-02-19
[3]
形成铜互连线的方法 [P]. 
肯尼思·C·卡迪恩 ;
安妮·E·米勒 ;
艾伦·D·费勒 .
中国专利 :CN1256765C ,2004-05-05
[4]
铜互连线的形成方法 [P]. 
张城龙 ;
张海洋 .
中国专利 :CN104103575A ,2014-10-15
[5]
铜互连线的形成方法 [P]. 
彭冰清 .
中国专利 :CN103000570B ,2013-03-27
[6]
铜互连线的刻蚀后处理方法 [P]. 
王冬江 ;
周俊卿 ;
张海洋 .
中国专利 :CN102760685B ,2012-10-31
[7]
一种金属掺杂的铜互连线的制备方法 [P]. 
李廷钰 ;
吴蕴雯 ;
苏红伟 ;
金歆宇 ;
鞠生宏 ;
徐江 .
中国专利 :CN117690868A ,2024-03-12
[8]
铜互连线间空气隙的形成方法 [P]. 
林宏 .
中国专利 :CN104319260A ,2015-01-28
[9]
铜互连线的形成方法及电镀装置 [P]. 
卢炯平 ;
聂佳相 .
中国专利 :CN102044427A ,2011-05-04
[10]
用于BEOL的同质铜互连 [P]. 
K·S·皮特拉尔卡 ;
M·克里施南 ;
M·洛法罗 ;
K·P·罗德贝尔 .
中国专利 :CN101023514A ,2007-08-22