共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
磁控溅射膜均匀度检测装置及其检测方法
被引：0
申请号：
CN202210617018.0
申请日：
2022-06-01
公开(公告)号：
CN114993960A
公开(公告)日：
2022-09-02
发明(设计)人：
黄桃
范玉山
申请人：
申请人地址：
215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇东庄路168号6幢
IPC主分类号：
G01N2117
IPC分类号：
代理机构：
苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246
代理人：
潘志渊
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/17 申请日:20220601 |
| 2022-09-02 | 公开 | 公开 |