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离子束均匀度检测装置及检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910305464.6
申请日：
2019-04-16
公开(公告)号：
CN111830553A
公开(公告)日：
2020-10-27
发明(设计)人：
李斌
庞闻
苏文华
李家军
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
G01T129
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01T 1/29 申请日:20190416 |
| 2020-10-27 | 公开 | 公开 |