聚焦离子束设备及聚焦离子束检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710037676.8

申请日：

2007-02-13

公开(公告)号：

CN101246132B

公开(公告)日：

2008-08-20

发明(设计)人：

赖李龙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G01N2304

IPC分类号：

G01N2318 G01N1310

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李文红

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效
2020-02-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 23/04 申请日:20070213 授权公告日:20111207 终止日期:20190213
2011-12-07	授权	授权
2008-08-20	公开	公开

共 50 条

[1]

聚焦离子束系统 [P].

高峰 ;

高强 .

中国专利 :CN119549924A ,2025-03-04

[2]

聚焦离子束分析方法 [P].

段淑卿 ;

曹蓉 ;

齐瑞娟 ;

于会生 .

中国专利 :CN105097580A ,2015-11-25

[3]

用于聚焦离子束设备的散热装置及其聚焦离子束设备 [P].

刘宝露 .

中国专利 :CN223206221U ,2025-08-08

[4]

聚焦离子束杂质鉴定 [P].

J.格雷厄姆 ;

L.克拉尔 .

中国专利 :CN111579890B ,2020-08-25

[5]

聚焦离子束探针及装置 [P].

李德元 .

中国专利 :CN218470584U ,2023-02-10

[6]

聚焦离子束设备及其控制方法 [P].

柴田博文 .

中国专利 :CN1227961A ,1999-09-08

[7]

用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统 [P].

彼得·克雷曼 ;

维特·班威尼斯特 ;

亚历山大·普瑞尔 ;

布莱恩·弗瑞尔 ;

麦可·葛瑞夫 .

中国专利 :CN101432841B ,2009-05-13

[8]

聚焦离子束样品清洁方法及装置 [P].

王娅茹 ;

李威 .

中国专利 :CN114192503A ,2022-03-18

[9]

离子束镀膜聚焦离子源 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209312712U ,2019-08-27

[10]

离子束检测装置及离子束检测方法、离子注入设备 [P].

苏文华 ;

何太延 .

中国专利 :CN119890016A ,2025-04-25

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