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离子束镀膜聚焦离子源
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920031293.8
申请日：
2019-01-09
公开(公告)号：
CN209312712U
公开(公告)日：
2019-08-27
发明(设计)人：
不公告发明人
申请人：
申请人地址：
102101 北京市延庆区康庄镇八达岭开发区风谷四路8号院26号楼东
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
C23C1422
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20190109 授权公告日:20190827 终止日期:20210109 |
| 2019-08-27 | 授权 | 授权 |