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液体金属离子源和聚焦离子束装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010660895.7
申请日：
2020-07-10
公开(公告)号：
CN112635276A
公开(公告)日：
2021-04-09
发明(设计)人：
小山喜弘
麻畑达也
清原正宽
杨宗翰
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3708
IPC分类号：
H01J3730
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
褚瑶杨;庞东成
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-09 | 公开 | 公开 |
| 2022-06-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/08 申请日:20200710 |