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一种离子束镀膜聚焦离子源
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201922420423.X
申请日：
2019-12-28
公开(公告)号：
CN211125568U
公开(公告)日：
2020-07-28
发明(设计)人：
安建昊
唐欢欢
申请人：
申请人地址：
225000 江苏省扬州市广陵区广陵产业园沙湾南路17号
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
C23C1446
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-28 | 授权 | 授权 |
| 2022-07-12 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 登记生效日:20220630 变更事项:专利权人 变更前权利人:江苏普拉斯玛机械有限公司 变更后权利人:江苏派莱特光电科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:225000 江苏省扬州市广陵区广陵产业园沙湾南路17号 变更后权利人:225000 江苏省扬州市江都区仙女镇文昌东路1449号星创天地NO3、NO4、NO31-2 |