一种离子束镀膜聚焦离子源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922420423.X

申请日：

2019-12-28

公开(公告)号：

CN211125568U

公开(公告)日：

2020-07-28

发明(设计)人：

安建昊唐欢欢

申请人：

申请人地址：

225000 江苏省扬州市广陵区广陵产业园沙湾南路17号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

C23C1446

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-28	授权	授权
2022-07-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 登记生效日:20220630 变更事项:专利权人变更前权利人:江苏普拉斯玛机械有限公司变更后权利人:江苏派莱特光电科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:225000 江苏省扬州市广陵区广陵产业园沙湾南路17号变更后权利人:225000 江苏省扬州市江都区仙女镇文昌东路1449号星创天地NO3、NO4、NO31-2

共 50 条

[21]

一种用于离子束刻蚀机的大口径平行束离子源 [P].

孙雪平 ;

佘鹏程 ;

彭立波 ;

陈特超 ;

张赛 ;

毛朝斌 ;

胡凡 .

中国专利 :CN104362065B ,2015-02-18

[22]

聚焦离子束探针及装置 [P].

李德元 .

中国专利 :CN218470584U ,2023-02-10

[23]

一种镀膜离子束导向机构 [P].

孙莎莎 .

中国专利 :CN220952023U ,2024-05-14

[24]

一种离子束溅射镀膜设备 [P].

陈卫军 ;

欧阳增图 ;

刘凌海 .

中国专利 :CN222476730U ,2025-02-14

[25]

一种离子源 [P].

张继朋 ;

魏国军 .

中国专利 :CN215008131U ,2021-12-03

[26]

一种离子源外壳及离子源 [P].

张海飞 ;

范文明 ;

卓永生 ;

刘家湛 .

中国专利 :CN223108838U ,2025-07-15

[27]

离子束溅射镀膜机 [P].

李求恕 ;

王文魁 ;

郭东民 ;

冯彬 ;

曾志群 ;

阎佐健 ;

刘军 ;

戚晖 ;

潘福全 ;

鲁向群 ;

吕祺 .

中国专利 :CN2399400Y ,2000-10-04

[28]

一种用于输出单原子氢离子束的场发射离子源 [P].

邹宇 ;

展长勇 ;

伍建春 .

中国专利 :CN202721105U ,2013-02-06

[29]

一种离子源以及镀膜装置 [P].

赵鑫 .

中国专利 :CN208362457U ,2019-01-11

[30]

一种离子束镀膜与刻蚀设备中的双模耦合中和器 [P].

陈特超 ;

刘东明 ;

黄群 ;

龚俊 ;

袁祖浩 ;

李勇 .

中国专利 :CN119811966A ,2025-04-11

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