一种离子束镀膜聚焦离子源

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922420423.X

申请日：

2019-12-28

公开(公告)号：

CN211125568U

公开(公告)日：

2020-07-28

发明(设计)人：

安建昊唐欢欢

申请人：

申请人地址：

225000 江苏省扬州市广陵区广陵产业园沙湾南路17号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

C23C1446

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-28	授权	授权
2022-07-12	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 登记生效日:20220630 变更事项:专利权人变更前权利人:江苏普拉斯玛机械有限公司变更后权利人:江苏派莱特光电科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:225000 江苏省扬州市广陵区广陵产业园沙湾南路17号变更后权利人:225000 江苏省扬州市江都区仙女镇文昌东路1449号星创天地NO3、NO4、NO31-2

共 50 条

[31]

一种制备风速管防冰敷涂层的离子束镀膜装置 [P].

金杰 ;

黄晓林 ;

王月 .

中国专利 :CN205529015U ,2016-08-31

[32]

射频离子源离子束束径约束器及对应的束径控制装置 [P].

李晓静 ;

张旭 ;

赵仕燕 ;

夏超翔 ;

张宁 .

中国专利 :CN212322948U ,2021-01-08

[33]

一种聚焦离子束切割载台 [P].

魏浩瀚 ;

陈整 ;

史江北 .

中国专利 :CN221326090U ,2024-07-12

[34]

一种双等离子体离子源 [P].

王俊润 ;

姚泽恩 ;

张宇 ;

韦峥 ;

卢小龙 ;

黄智武 ;

马占文 ;

徐大鹏 ;

祝娇 ;

李清华 .

中国专利 :CN207783240U ,2018-08-28

[35]

一种线性离子束源装置 [P].

汪爱英 ;

代伟 ;

孙丽丽 ;

吴国松 .

中国专利 :CN201400715Y ,2010-02-10

[36]

霍尔离子源 [P].

汤兆胜 ;

罗新华 ;

金怀凯 ;

金永军 ;

孙玉琴 .

中国专利 :CN205645750U ,2016-10-12

[37]

变径磁过滤等离子体引出装置及真空离子束镀膜设备 [P].

卫红 ;

胡琅 ;

徐平 ;

侯立涛 ;

冯杰 ;

胡强 ;

侯少毅 .

中国专利 :CN111778484B ,2020-10-16

[38]

一种改善镀膜过程离子源污染的加大版离子源挡板 [P].

林鸳 ;

羊彦 ;

欧阳小安 ;

周琛 ;

郑伟 ;

王建龙 ;

熊祖超 ;

石文旭 .

中国专利 :CN223255386U ,2025-08-22

[39]

甲斐裕章 ;

西村一平 .

中国专利 :CN207338293U ,2018-05-08

[40]

张进伟 ;

任焱 .

中国专利 :CN206639774U ,2017-11-14

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