一种离子束镀膜设备及其镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110063794.6

申请日：

2021-01-18

公开(公告)号：

CN112899633B

公开(公告)日：

2021-06-04

发明(设计)人：

范江华佘鹏程周立平巴塞袁祖浩程文进

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

C23C1446

IPC分类号：

C23C1456 C23C1450 C23C1454

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

何文红

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-04	公开	公开
2021-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/46 申请日:20210118
2022-07-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种离子束镀膜设备 [P].

陈卫军 ;

欧阳增图 ;

刘凌海 .

中国专利 :CN221971656U ,2024-11-08

[2]

一种离子束镀膜装置 [P].

闫志强 .

中国专利 :CN214496464U ,2021-10-26

[3]

离子束镀膜聚焦离子源 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209312712U ,2019-08-27

[4]

一种离子束镀膜聚焦离子源 [P].

安建昊 ;

唐欢欢 .

中国专利 :CN211125568U ,2020-07-28

[5]

一种离子束溅射镀膜设备 [P].

范江华 ;

胡凡 ;

陈特超 ;

毛朝斌 ;

罗超 ;

程文进 .

中国专利 :CN112481595A ,2021-03-12

[6]

离子束辅助沉积镀膜装置及镀膜方法 [P].

朱佳敏 ;

陈思侃 ;

高中赫 ;

李鸿 ;

曹森 ;

陈永春 ;

陈晓琦 ;

孙树博 ;

林晓辉 ;

柏培 .

中国专利 :CN116904955B ,2024-04-30

[7]

一种离子束刻蚀设备及其刻蚀方法 [P].

范江华 ;

胡凡 ;

龚俊 ;

刘宇 ;

黄也 ;

程文进 .

中国专利 :CN112750738A ,2021-05-04

[8]

一种离子束刻蚀设备及其刻蚀方法 [P].

范江华 ;

胡凡 ;

龚俊 ;

刘宇 ;

黄也 ;

程文进 .

中国专利 :CN112750738B ,2024-02-23

[9]

一种离子束镀膜与刻蚀设备中的双模耦合中和器 [P].

陈特超 ;

刘东明 ;

黄群 ;

龚俊 ;

袁祖浩 ;

李勇 .

中国专利 :CN119811966A ,2025-04-11

[10]

钢球离子束镀膜用带式循环运送装置 [P].

王志新 ;

马明星 ;

张志汉 ;

张宪斌 .

中国专利 :CN205329153U ,2016-06-22

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