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聚焦离子束样品清洁方法及装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111475885.7
申请日：
2021-12-06
公开(公告)号：
CN114192503A
公开(公告)日：
2022-03-18
发明(设计)人：
王娅茹
李威
申请人：
申请人地址：
430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
B08B700
IPC分类号：
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
陈丽丽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-18 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 7/00 申请日:20211206 |