利用聚焦离子束加工透射样品的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411905689.2

申请日：

2024-12-23

公开(公告)号：

CN119804090A

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

吴华强孙雯高滨唐建石钱鹤王钰言

申请人：

清华大学

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园1号

IPC主分类号：

G01N1/44

IPC分类号：

G01N1/28 G01N23/04

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

孙璐璐

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 1/44申请日:20241223
2025-04-11	公开	公开

共 50 条

[1]

利用聚焦离子束加工半导体芯片结构透射样品的方法 [P].

吴华强 ;

孙雯 ;

唐建石 ;

高滨 ;

钱鹤 .

中国专利 :CN116380577B ,2025-07-22

[2]

利用聚焦离子束制备透射电镜样品的方法 [P].

池祥 ;

陈自强 ;

胡伟 ;

史尧 ;

吴克辉 .

中国专利 :CN118483008A ,2024-08-13

[3]

一种利用聚焦离子束制备大尺寸透射样品的加工方法 [P].

孙巧艳 ;

寇文娟 ;

黄明达 ;

陈威 ;

肖林 ;

孙军 .

中国专利 :CN105842045B ,2016-08-10

[4]

利用聚焦离子束技术制备透射电镜金属拉伸样品的方法 [P].

冉广 ;

朱士坤 ;

丁一帆 .

中国专利 :CN120558668A ,2025-08-29

[5]

聚焦离子束设备及聚焦离子束检测方法 [P].

赖李龙 .

中国专利 :CN101246132B ,2008-08-20

[6]

一种用离子束加工双铜环夹持的透射样品制备方法 [P].

谭军 ;

张磊 ;

温井龙 ;

谢天生 .

中国专利 :CN100359316C ,2007-02-28

[7]

一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置 [P].

秦元斌 ;

张朋诚 ;

郭朝维 ;

付琴琴 ;

单智伟 .

中国专利 :CN212722273U ,2021-03-16

[8]

一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置 [P].

秦元斌 ;

张朋诚 ;

郭朝维 ;

付琴琴 ;

单智伟 .

中国专利 :CN111693349B ,2024-08-16

[9]

一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置 [P].

秦元斌 ;

张朋诚 ;

郭朝维 ;

付琴琴 ;

单智伟 .

中国专利 :CN111693349A ,2020-09-22

[10]

聚焦离子束样品清洁方法及装置 [P].

王娅茹 ;

李威 .

中国专利 :CN114192503A ,2022-03-18

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