图案化氧化铟锡薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710086796.7

申请日：

2007-03-20

公开(公告)号：

CN101145523A

公开(公告)日：

2008-03-19

发明(设计)人：

刘胜杰吴子扬潘昇良李元榜林耀辉

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号

IPC主分类号：

H01L213213

IPC分类号：

H01L21306 H01L21308

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-03-19	公开	公开
2010-02-24	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

增进平坦化氧化铟锡薄膜的方法 [P].

萧调宏 .

中国专利 :CN1499652A ,2004-05-26

[2]

氧化铟锡薄膜表面粗化方法 [P].

李云鹏 ;

董乔 .

中国专利 :CN113991038B ,2024-12-24

[3]

氧化铟锡薄膜表面粗化方法 [P].

李云鹏 ;

董乔 .

中国专利 :CN113991038A ,2022-01-28

[4]

一种氧化铟锡薄膜图案的制备方法 [P].

彭俊彪 ;

朱宇博 ;

徐华 ;

徐苗 ;

李民 .

中国专利 :CN113130317A ,2021-07-16

[5]

氧化铟锡图案化装置及图案化方法 [P].

李赞九 ;

金秀灿 ;

裴贤燮 ;

金永元 ;

朴炳圭 .

中国专利 :CN105103093A ,2015-11-25

[6]

非晶氧化铟锡薄膜的制备方法 [P].

马志锋 ;

刘玉华 ;

张莉 .

中国专利 :CN105839064A ,2016-08-10

[7]

氧化铟锡图案曝光装置 [P].

行田道知 ;

浅见正利 .

中国专利 :CN103926808A ,2014-07-16

[8]

一种氧化铟锡薄膜的制备方法 [P].

赵波 ;

柳俊 .

中国专利 :CN115044887A ,2022-09-13

[9]

一种氧化铟锡薄膜的制备方法 [P].

郎鑫涛 .

中国专利 :CN114231902A ,2022-03-25

[10]

氧化铟锡透明导电薄膜表面粗化方法 [P].

郑怀文 ;

张逸韵 ;

吴奎 ;

杨华 ;

李璟 .

中国专利 :CN102244159B ,2011-11-16

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