一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201820347815.0

申请日：

2018-03-14

公开(公告)号：

CN207973799U

公开(公告)日：

2018-10-16

发明(设计)人：

徐祖元

申请人：

申请人地址：

517000 广东省河源市高新技术开发区高新五路

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1434

代理机构：

北京尚伦律师事务所 11477

代理人：

赵真

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/56 登记生效日:20190830 变更事项:专利权人变更前权利人:汉能光伏科技有限公司变更后权利人:汉能移动能源控股集团有限公司变更事项:地址变更前权利人:100107 北京市朝阳区奥运村街道办公区2号楼103室变更后权利人:100107 北京市朝阳区奥运村街道综合办公区2号楼107室
2019-03-01	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/56 登记生效日:20190212 变更事项:专利权人变更前权利人:广东汉能薄膜太阳能有限公司变更后权利人:汉能光伏科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:517000 广东省河源市高新技术开发区高新五路变更后权利人:100107 北京市朝阳区奥运村街道办公区2号楼103室
2020-12-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/56 登记生效日:20201126 变更事项:专利权人变更前权利人:汉能移动能源控股集团有限公司变更后权利人:北京晖宏科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:100107 北京市朝阳区奥运村街道综合办公区2号楼107室变更后权利人:101400 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖大街31号（集群注册）
2018-10-16	授权	授权
2021-10-19	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/56 登记生效日:20211008 变更事项:专利权人变更前权利人:北京晖宏科技有限公司变更后权利人:东君新能源有限公司变更事项:地址变更前权利人:101400 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖大街31号（集群注册）变更后权利人:101400 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖大街31号

共 50 条

[1]

真空镀膜机用成型镀膜靶材 [P].

杨太礼 ;

张向东 .

中国专利 :CN2818494Y ,2006-09-20

[2]

一种真空镀膜机的靶材保护结构 [P].

刘佩杰 .

中国专利 :CN215887212U ,2022-02-22

[3]

一种真空镀膜机的靶材保护结构 [P].

吴伟亮 ;

冯刚 ;

邓永琪 ;

汪毅 ;

梁海洋 ;

李章雄 .

中国专利 :CN211256069U ,2020-08-14

[4]

靶材安装结构及真空镀膜机 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

蒋毅 ;

易洪波 ;

李宏盛 ;

赵刚 .

中国专利 :CN115976477B ,2024-11-26

[5]

一种卷绕式真空镀膜机 [P].

李正平 ;

李成林 .

中国专利 :CN209619441U ,2019-11-12

[6]

一种卷绕式真空镀膜机 [P].

刘正鹏 ;

夏纪梅 .

中国专利 :CN220804144U ,2024-04-19

[7]

卷绕式真空镀膜机 [P].

蒋国辉 .

中国专利 :CN208883975U ,2019-05-21

[8]

一种卷绕式真空镀膜机 [P].

甄元石 .

中国专利 :CN221166732U ,2024-06-18

[9]

一种真空镀膜机的柱靶安装结构 [P].

武文全 .

中国专利 :CN210683929U ,2020-06-05

[10]

一种PVD真空镀膜机的靶材挡板装置 [P].

蔡辉 .

中国专利 :CN223074243U ,2025-07-08

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