共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种真空镀膜机的靶材保护结构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121949923.3
申请日：
2021-08-19
公开(公告)号：
CN215887212U
公开(公告)日：
2022-02-22
发明(设计)人：
刘佩杰
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市光明新区公明街道塘尾村南埔山粤宝公司A区5号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
C23C1456
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-02-22 | 授权 | 授权 |