一种真空镀膜机的靶材绝缘保护机构及靶材总装

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420415300.5

申请日：

2024-03-05

公开(公告)号：

CN221877156U

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

朱波沈锋李学法张国平

申请人：

江阴纳力新材料科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市江阴市璜土镇华滨路26号

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

代理机构：

江苏南通瀛信专利代理事务所(普通合伙) 32579

代理人：

徐志威

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	授权	授权

共 50 条

[1]

真空镀膜机用成型镀膜靶材 [P].

杨太礼 ;

张向东 .

中国专利 :CN2818494Y ,2006-09-20

[2]

靶材安装结构及真空镀膜机 [P].

刘伟基 ;

冀鸣 ;

蒋毅 ;

易洪波 ;

李宏盛 ;

赵刚 .

中国专利 :CN115976477B ,2024-11-26

[3]

一种真空镀膜机的靶材保护结构 [P].

刘佩杰 .

中国专利 :CN215887212U ,2022-02-22

[4]

一种真空镀膜机的靶材保护结构 [P].

吴伟亮 ;

冯刚 ;

邓永琪 ;

汪毅 ;

梁海洋 ;

李章雄 .

中国专利 :CN211256069U ,2020-08-14

[5]

真空镀膜靶材 [P].

进藤孝明 ;

中村肇 ;

石野耕司 ;

宇佐美达巳 ;

松田麻也子 .

中国专利 :CN300825422D ,2008-09-03

[6]

一种真空镀膜机用靶材固定装置 [P].

宋思博 ;

靳世旭 .

中国专利 :CN222574753U ,2025-03-07

[7]

一种真空镀膜靶材安装机构 [P].

冯伟 ;

吴海平 ;

杜晓颖 ;

杜国才 .

中国专利 :CN213164984U ,2021-05-11

[8]

一种PVD真空镀膜机的靶材挡板装置 [P].

蔡辉 .

中国专利 :CN223074243U ,2025-07-08

[9]

一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构 [P].

徐祖元 .

中国专利 :CN207973799U ,2018-10-16

[10]

一种真空镀膜机用镀铝膜靶材预热装置 [P].

刘玉杰 .

中国专利 :CN206646158U ,2017-11-17

← 1 2 3 4 5 →