一种集成多MEMS传感器的控制装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201821555713.4
申请日
2018-09-21
公开(公告)号
CN208722022U
公开(公告)日
2019-04-09
发明(设计)人
张盛
申请人
申请人地址
310012 浙江省杭州市黄姑山路4号
IPC主分类号
G05B19042
IPC分类号
代理机构
北京成创同维知识产权代理有限公司 11449
代理人
蔡纯;张靖琳
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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MEMS传感器 [P]. 
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陈虎 ;
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