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一种MEMS传感器的控制装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810826959.9
申请日：
2018-07-25
公开(公告)号：
CN108803680A
公开(公告)日：
2018-11-13
发明(设计)人：
方焕辉
申请人：
申请人地址：
100039 北京市海淀区永定路航天二院西院南门
IPC主分类号：
G05D312
IPC分类号：
代理机构：
北京轻创知识产权代理有限公司 11212
代理人：
谈杰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-11-13 | 公开 | 公开 |
| 2022-04-08 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G05D 3/12 申请公布日:20181113 |
| 2018-12-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 3/12 申请日:20180725 |