MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080010981.1

申请日：

2020-01-20

公开(公告)号：

CN113474281A

公开(公告)日：

2021-10-01

发明(设计)人：

A·丹嫩贝格 M·施瓦茨

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81B700

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

郭毅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-01	公开	公开
2022-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/00 申请日:20200120

共 50 条

[1]

MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P].

A·丹嫩贝格 ;

M·施瓦茨 .

德国专利 :CN113474281B ,2024-10-29

[2]

MEMS传感器以及提供和运行MEMS传感器的方法 [P].

A·德厄 ;

M·菲尔德纳 ;

A·韦斯鲍尔 .

中国专利 :CN109319727A ,2019-02-12

[3]

MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

中国专利 :CN113365937A ,2021-09-07

[4]

MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

德国专利 :CN113365937B ,2025-04-15

[5]

用于MEMS传感器的折叠弹簧组以及MEMS传感器 [P].

裘进 ;

熊斌 ;

颜陪力 .

中国专利 :CN106871885A ,2017-06-20

[6]

用于制造MEMS传感器的方法和MEMS传感器 [P].

M·施泰尔特 .

中国专利 :CN109422239A ,2019-03-05

[7]

MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

韩可都 ;

刘婧 ;

冯方方 ;

杨长春 .

中国专利 :CN110763870A ,2020-02-07

[8]

MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

周永建 ;

张潇筱 ;

刘婧 ;

孟海龙 ;

杨长春 ;

韩可都 ;

冯方方 .

中国专利 :CN111561958A ,2020-08-21

[9]

具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

T·弗里德里希 ;

K·德塞尔 ;

C·赫尔梅斯 .

中国专利 :CN113226977A ,2021-08-06

[10]

具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

T·弗里德里希 ;

K·德塞尔 ;

C·赫尔梅斯 .

德国专利 :CN113226977B ,2024-12-20

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