MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010410940.3

申请日：

2020-05-15

公开(公告)号：

CN111561958A

公开(公告)日：

2020-08-21

发明(设计)人：

李宗伟周永建张潇筱刘婧孟海龙杨长春韩可都冯方方

申请人：

申请人地址：

100027 北京市朝阳区北土城西路19号

IPC主分类号：

G01D1800

IPC分类号：

H03H1104

代理机构：

北京众达德权知识产权代理有限公司 11570

代理人：

何蓉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01D 18/00 申请日:20200515
2020-08-21	公开	公开
2021-03-30	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS传感器检测装置以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

韩可都 ;

刘婧 ;

冯方方 ;

杨长春 .

中国专利 :CN110763870A ,2020-02-07

[2]

MEMS传感器 [P].

托马斯·弗勒利希 ;

马克·尼德伯格 ;

科林·斯蒂尔 ;

雷内·朔伊纳 ;

托马斯·克里斯坦 ;

卢卡斯·佩尔克托尔德 ;

范维东 .

中国专利 :CN109983692A ,2019-07-05

[3]

MEMS传感器 [P].

P·威尔逊 ;

K·科杜尔 .

中国专利 :CN110383680A ,2019-10-25

[4]

MEMS传感器防尘装置及MEMS传感器 [P].

徐海胜 .

中国专利 :CN213906934U ,2021-08-06

[5]

前置放大器、MEMS传感器读出电路以及MEMS传感器系统 [P].

李宗伟 ;

韩可都 ;

杨长春 ;

刘婧 .

中国专利 :CN110380700B ,2019-10-25

[6]

MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

中国专利 :CN110498385A ,2019-11-26

[7]

MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法 [P].

D·图姆波德 ;

D·迈尔 .

德国专利 :CN110498385B ,2024-08-30

[8]

MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P].

A·丹嫩贝格 ;

M·施瓦茨 .

中国专利 :CN113474281A ,2021-10-01

[9]

MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

中国专利 :CN113365937A ,2021-09-07

[10]

MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P].

C·纳格尔 .

德国专利 :CN113365937B ,2025-04-15

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