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具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980085041.6
申请日：
2019-12-17
公开(公告)号：
CN113226977A
公开(公告)日：
2021-08-06
发明(设计)人：
T·弗里德里希 K·德塞尔 C·赫尔梅斯
申请人：
申请人地址：
德国斯图加特
IPC主分类号：
B81B704
IPC分类号：
B81C100 G01L900
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
侯鸣慧
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-08-06 公开 公开
2022-01-11 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B81B 7/04 申请日:20191217
共 50 条
[1]
具有膜片的MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P]. 
T·弗里德里希 ;
K·德塞尔 ;
C·赫尔梅斯 .
德国专利 :CN113226977B ,2024-12-20
[2]
MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P]. 
C·纳格尔 .
中国专利 :CN113365937A ,2021-09-07
[3]
MEMS传感器以及用于制造MEMS传感器的方法 [P]. 
C·纳格尔 .
德国专利 :CN113365937B ,2025-04-15
[4]
用于制造MEMS传感器的方法和MEMS传感器 [P]. 
M·施泰尔特 .
中国专利 :CN109422239A ,2019-03-05
[5]
MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P]. 
A·丹嫩贝格 ;
M·施瓦茨 .
中国专利 :CN113474281A ,2021-10-01
[6]
MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法 [P]. 
A·丹嫩贝格 ;
M·施瓦茨 .
德国专利 :CN113474281B ,2024-10-29
[7]
MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P]. 
仲谷吾郎 .
中国专利 :CN101353153B ,2009-01-28
[8]
MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P]. 
纸西大祐 ;
M·W·黑勒 ;
藤田有真 .
日本专利 :CN118339460A ,2024-07-12
[9]
MEMS传感器和MEMS传感器的制造方法 [P]. 
仲谷吾郎 ;
冈田瑞穗 ;
山下宜久 .
中国专利 :CN101353152A ,2009-01-28
[10]
MEMS传感器及MEMS传感器的制造方法 [P]. 
樱木正広 .
日本专利 :CN118145588A ,2024-06-07
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