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热处理方法及热处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911143546.1
申请日：
2019-11-20
公开(公告)号：
CN111489983A
公开(公告)日：
2020-08-04
发明(设计)人：
伊藤祯朗
申请人：
申请人地址：
日本京都
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
陈甜甜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-04 | 公开 | 公开 |
| 2020-08-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20191120 |