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一种晶圆裂片装置及晶圆裂片方法
被引：0
申请号：
CN202210961013.X
申请日：
2022-08-11
公开(公告)号：
CN115036213A
公开(公告)日：
2022-09-09
发明(设计)人：
郭凯
冯田田
唐毅
敬毅
谢雷
申请人：
申请人地址：
629200 四川省遂宁市射洪市经济开发区河东大道
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
成都诚中致达专利代理有限公司 51280
代理人：
杨春
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20220811 |
| 2022-09-09 | 公开 | 公开 |
| 2023-01-10 | 授权 | 授权 |