一种平面靶材的制备方法

被引：0

申请号：

CN202211159806.6

申请日：

2022-09-22

公开(公告)号：

CN115449766A

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

张蛟徐国军刘丽红蒋明伟

申请人：

申请人地址：

242000 安徽省宣城市宣城经济技术开发区清流路99号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C402 C23C406 C23C4134 C23C2404

代理机构：

南京匠桥专利代理有限公司 32568

代理人：

王冰冰

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种CoFeB平面靶材的制备方法 [P].

冯潦 ;

蔡新志 ;

童培云 .

中国专利 :CN118895456A ,2024-11-05

[2]

一种平面靶材的加工方法 [P].

黄宇彬 ;

蔡新志 ;

童培云 ;

于金凤 ;

朱刘 .

中国专利 :CN110090992A ,2019-08-06

[3]

一种平面靶材的固定方法 [P].

刘毅华 ;

余芳 ;

谭继军 ;

雷永杰 ;

林昊 ;

裴炜炀 .

中国专利 :CN114657520A ,2022-06-24

[4]

一种氧化铌平面靶材的制备方法及氧化铌平面靶材 [P].

张士察 ;

孙振德 .

中国专利 :CN104973864A ,2015-10-14

[5]

一种ITO平面靶材的制备方法 [P].

李明鸿 ;

李帅 ;

余芳 ;

高日旭 ;

李叶 .

中国专利 :CN117263670B ,2025-07-25

[6]

一种平面绑定靶材及一种平面靶材的绑定方法 [P].

张凤戈 ;

魏铁峰 ;

张立强 ;

岳万祥 ;

李建奎 .

中国专利 :CN112359331B ,2021-02-12

[7]

一种金属铋平面靶材的制备方法 [P].

毛远兴 ;

黄宇彬 ;

童培云 .

中国专利 :CN113442000A ,2021-09-28

[8]

一种碲硒锌平面靶材及其制备方法 [P].

李云洪 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN117702059B ,2025-10-17

[9]

一种一体型大尺寸平面靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

黄东长 .

中国专利 :CN113106402A ,2021-07-13

[10]

一种碲硒锌平面靶材及其制备方法 [P].

李云洪 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN117702059A ,2024-03-15

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