一种碲硒锌平面靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311720422.1

申请日：

2023-12-14

公开(公告)号：

CN117702059B

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

李云洪文崇斌

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C04B35/547 C04B35/622

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

宋静娜

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权
2024-03-15	公开	公开
2024-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20231214

共 50 条

[1]

一种碲硒锌平面靶材及其制备方法 [P].

李云洪 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN117702059A ,2024-03-15

[2]

一种碲化锌掺锌平面靶材及其制备方法 [P].

周荣艳 ;

吴彩红 ;

文崇斌 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113402276A ,2021-09-17

[3]

一种锌碲合金靶材及其制备方法 [P].

袁明辉 .

中国专利 :CN119121144A ,2024-12-13

[4]

一种硒化锌靶材及其制备方法 [P].

文崇斌 ;

朱刘 ;

童培云 ;

余芳 .

中国专利 :CN112342507A ,2021-02-09

[5]

一种碲化锌旋转靶材及其制备方法 [P].

罗海奇 ;

文崇斌 ;

植锐俊 ;

胡智向 .

中国专利 :CN117776721A ,2024-03-29

[6]

碲化锌靶材的制备方法 [P].

朱刘 ;

胡智向 ;

文崇斌 ;

曾成亮 .

中国专利 :CN107805788A ,2018-03-16

[7]

一种碲锌镉靶材的制备方法 [P].

文崇斌 ;

王英洁 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN113526955A ,2021-10-22

[8]

一种碲化锌靶材及其制备方法与应用 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

罗泽宇 ;

高钰航 ;

杨进明 .

中国专利 :CN118108506B ,2025-12-16

[9]

一种碲化锌靶材及其制备方法与应用 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

罗泽宇 ;

高钰航 ;

杨进明 .

中国专利 :CN118108506A ,2024-05-31

[10]

一种碲化锌掺N靶材及其制备方法 [P].

罗海奇 ;

文崇斌 ;

朱卓南 .

中国专利 :CN117512529B ,2025-10-17

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