一种碲化锌旋转靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311737564.9

申请日：

2023-12-15

公开(公告)号：

CN117776721A

公开(公告)日：

2024-03-29

发明(设计)人：

罗海奇文崇斌植锐俊胡智向

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C04B35/515

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/65 C04B35/645 C23C14/34

代理机构：

清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815

代理人：

黄迅

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/515申请日:20231215
2024-03-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种碲化锌掺锌平面靶材及其制备方法 [P].

周荣艳 ;

吴彩红 ;

文崇斌 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113402276A ,2021-09-17

[2]

一种碲化锌掺N靶材及其制备方法 [P].

罗海奇 ;

文崇斌 ;

朱卓南 .

中国专利 :CN117512529B ,2025-10-17

[3]

一种碲化锌掺N靶材及其制备方法 [P].

罗海奇 ;

文崇斌 ;

朱卓南 .

中国专利 :CN117512529A ,2024-02-06

[4]

碲化锌靶材的制备方法 [P].

朱刘 ;

胡智向 ;

文崇斌 ;

曾成亮 .

中国专利 :CN107805788A ,2018-03-16

[5]

一种碲化锌掺杂靶材及其制备方法与应用 [P].

周荣艳 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN115108831A ,2022-09-27

[6]

一种导电性碲化锌靶材的制备方法 [P].

文崇斌 ;

余芳 ;

朱刘 ;

童培云 ;

胡智向 ;

曾成亮 .

中国专利 :CN113121232A ,2021-07-16

[7]

一种导电TeOX旋转靶材及其制备方法 [P].

吴彩红 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN113666717A ,2021-11-19

[8]

一种碲化锌靶材及其制备方法与应用 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

罗泽宇 ;

高钰航 ;

杨进明 .

中国专利 :CN118108506B ,2025-12-16

[9]

一种碲化锌靶材及其制备方法与应用 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

罗泽宇 ;

高钰航 ;

杨进明 .

中国专利 :CN118108506A ,2024-05-31

[10]

一种碲化锌掺铜靶材的制备方法 [P].

周荣艳 ;

吴彩红 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN113372117A ,2021-09-10

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