一种碲化锌掺N靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311328038.7

申请日：

2023-10-13

公开(公告)号：

CN117512529A

公开(公告)日：

2024-02-06

发明(设计)人：

罗海奇文崇斌朱卓南

申请人：

先导薄膜材料（广东）有限公司

申请人地址：

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C23C14/06

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

宋静娜

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权
2024-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20231013
2024-02-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种碲化锌掺N靶材及其制备方法 [P].

罗海奇 ;

文崇斌 ;

朱卓南 .

中国专利 :CN117512529B ,2025-10-17

[2]

一种碲化锌掺锌平面靶材及其制备方法 [P].

周荣艳 ;

吴彩红 ;

文崇斌 ;

童培云 ;

朱刘 .

中国专利 :CN113402276A ,2021-09-17

[3]

一种碲化锌掺铜靶材的制备方法 [P].

周荣艳 ;

吴彩红 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN113372117A ,2021-09-10

[4]

一种碲化锌旋转靶材及其制备方法 [P].

罗海奇 ;

文崇斌 ;

植锐俊 ;

胡智向 .

中国专利 :CN117776721A ,2024-03-29

[5]

一种非掺杂导电碲化锌靶材及其制备方法 [P].

文崇斌 ;

余芳 ;

朱刘 ;

童培云 ;

罗海奇 ;

曾成亮 .

中国专利 :CN114560700B ,2022-05-31

[6]

一种碲化锌靶材及其制备方法与应用 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

罗泽宇 ;

高钰航 ;

杨进明 .

中国专利 :CN118108506B ,2025-12-16

[7]

一种碲化锌靶材及其制备方法与应用 [P].

葛春桥 ;

李强 ;

罗泽宇 ;

高钰航 ;

杨进明 .

中国专利 :CN118108506A ,2024-05-31

[8]

碲化锌靶材的制备方法 [P].

朱刘 ;

胡智向 ;

文崇斌 ;

曾成亮 .

中国专利 :CN107805788A ,2018-03-16

[9]

一种碲化锌掺杂靶材及其制备方法与应用 [P].

周荣艳 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN115108831A ,2022-09-27

[10]

碲化锌掺碲化亚铜靶材的生产工艺 [P].

吴文斌 ;

舒小敏 .

中国专利 :CN109704766A ,2019-05-03

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