具有改良型夹具的晶片清洗机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200620049609.9

申请日：

2006-12-27

公开(公告)号：

CN200984582Y

公开(公告)日：

2007-12-05

发明(设计)人：

王磊

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江路18号

IPC主分类号：

B08B1100

IPC分类号：

B08B304 B08B1300 H01L21302

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-12-05	授权	授权
2013-04-10	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101564015281 IPC(主分类):B08B 11/00 专利号:ZL2006200496099 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市张江路18号变更后权利人:100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130320
2017-01-25	专利权的终止	专利权有效期届满号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101700186396 IPC(主分类):B08B 11/00 专利号:ZL2006200496099 申请日:20061227 授权公告日:20071205 终止日期:无

共 50 条

[1]

基底清洗机台 [P].

张杰真 ;

刘命江 ;

方桂芹 .

中国专利 :CN209298082U ,2019-08-23

[2]

晶片清洗机 [P].

吴勇 ;

姚祖英 ;

徐伟 .

中国专利 :CN213194765U ,2021-05-14

[3]

晶片清洗机 [P].

毛毅 .

中国专利 :CN206535799U ,2017-10-03

[4]

晶片清洗机 [P].

吴永清 .

中国专利 :CN2650897Y ,2004-10-27

[5]

晶片清洗机 [P].

胡德良 ;

周云青 ;

薛毓虎 ;

沈彪 .

中国专利 :CN201357158Y ,2009-12-09

[6]

晶片清洗机 [P].

吴永清 .

中国专利 :CN2558076Y ,2003-06-25

[7]

清洗机台 [P].

兰升友 ;

袁山富 ;

文成龙 .

中国专利 :CN217306453U ,2022-08-26

[8]

单片硅片清洗机台 [P].

吴耀辉 ;

周炳 .

中国专利 :CN204204813U ,2015-03-11

[9]

晶圆清洗机台 [P].

杨志勇 ;

何永根 .

中国专利 :CN205845907U ,2016-12-28

[10]

晶圆清洗机台 [P].

吕慧超 ;

高英哲 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN209487474U ,2019-10-11

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